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HPS5630 多通道電阻率測(cè)試儀

上海雙旭 HPS5630 多通道電阻率測(cè)試儀

產(chǎn)品概述
上海雙旭 HPS5630 是一款高精度、多通道同步測(cè)量的電阻率測(cè)試儀器，適用于半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜、涂層、陶瓷及各類功能性材料的體積電阻率與表面電阻率測(cè)量。采用四線制恒流源法及屏蔽抗干擾設(shè)計(jì)，可在實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定的批量檢測(cè)。

產(chǎn)品參數(shù)

• 測(cè)量通道數(shù)：4/8通道可配置（支持獨(dú)立或同步測(cè)量）
• 電阻測(cè)量范圍：10⁻³ Ω ~ 10¹² Ω
• 電阻率測(cè)量范圍：10⁻⁴ Ω·cm ~ 10¹⁴ Ω·cm（依樣品尺寸換算）
• 分辨率：0.01% F.S.
• 測(cè)量精度：±0.1%（標(biāo)準(zhǔn)條件下）
• 電流輸出范圍：1 nA ~ 100 mA（軟件可調(diào)，恒流源穩(wěn)定度 ±0.05%）
• 電壓測(cè)量范圍：±200 mV ~ ±20 V（自動(dòng)量程切換）
• 測(cè)量方法：四探針?lè)?/ 四線制恒流法可選
• 采樣速率：最高 100 次/秒/通道
• 通訊接口：RS-232、USB、LAN（支持上位機(jī)軟件遠(yuǎn)程控制）
• 顯示方式：7寸彩色觸摸屏 + PC端軟件
• 電源要求：AC 220V ±10%，50/60 Hz
• 工作溫度/濕度：0~40℃，≤85% RH（無(wú)凝露）
• 外形尺寸：約 430mm × 350mm × 180mm
• 重量：約 9 kg

功能特點(diǎn)

• 多通道并行采集，提升批量測(cè)試效率
• 四線制消除引線電阻影響，提高低阻測(cè)量準(zhǔn)確性
• 內(nèi)置溫漂補(bǔ)償與自校準(zhǔn)程序，保障長(zhǎng)期穩(wěn)定性
• 支持自定義測(cè)試模式與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/導(dǎo)出（Excel、CSV）
• 具備超限報(bào)警及統(tǒng)計(jì)功能（均值、標(biāo)準(zhǔn)差、CPK）
• 兼容多種探針夾具與樣品臺(tái)，適配不同形狀樣品

使用注意事項(xiàng)

• 測(cè)量前需根據(jù)樣品電阻率范圍選擇合適電流檔位，避免過(guò)大電流導(dǎo)致樣品發(fā)熱或擊穿。
• 探針與被測(cè)樣品接觸須良好且壓力均勻，避免接觸電阻變化引入誤差。
• 高阻測(cè)量時(shí)應(yīng)進(jìn)行環(huán)境電磁屏蔽，遠(yuǎn)離強(qiáng)干擾源（如變頻器、大功率設(shè)備）。
• 四探針?lè)ㄊ褂脮r(shí)保持探針間距一致并垂直于樣品表面，避免傾斜造成分布參數(shù)變化。
• 嚴(yán)禁在潮濕、腐蝕性氣體環(huán)境中長(zhǎng)期運(yùn)行，防止電路板與接插件氧化。
• 長(zhǎng)時(shí)間不使用應(yīng)斷開電源，定期開機(jī)自檢以延長(zhǎng)元器件壽命。
• 更換樣品或探針時(shí)務(wù)必先關(guān)閉電流輸出，防止瞬間高壓沖擊損壞前端電路。
• 軟件升級(jí)或參數(shù)修改后需執(zhí)行一次零點(diǎn)校準(zhǔn)方可開始正式測(cè)量。
• 測(cè)量數(shù)據(jù)若出現(xiàn)異常波動(dòng)，應(yīng)檢查接線牢固性、探針潔凈度及環(huán)境溫度穩(wěn)定性。

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