HPS5620 多通道電阻率測試儀

上海雙旭HPS5620多通道電阻率測試儀

產(chǎn)品概述

HPS5620是一款高性能多通道電阻率測試儀，適用于半導(dǎo)體材料、晶圓、導(dǎo)電薄膜等樣品的電阻率及方塊電阻測量。其多通道設(shè)計(jì)支持高效批量測試，提升檢測效率。

產(chǎn)品參數(shù)

• 測量參數(shù)：電阻、電阻率、方塊電阻（薄層電阻）
• 通道數(shù)量：多通道配置（具體通道數(shù)依型號而定，常見為4/8通道）
• 測量范圍：電阻：10μΩ ~ 2MΩ；電阻率：10^-5 ~ 10⁶ Ω·cm
• 測量精度：典型精度優(yōu)于±0.5%
• 測試電流：可編程電流源，范圍通常為1μA ~ 100mA
• 顯示界面：彩色液晶觸摸屏
• 數(shù)據(jù)接口：USB、RS-232，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出
• 探針配置：支持四探針、雙探針等多種測試夾具
• 電源要求：AC 220V ±10%，50/60Hz

使用注意事項(xiàng)

• 環(huán)境要求：應(yīng)在溫度23±5°C、相對濕度≤70%的無強(qiáng)電磁干擾環(huán)境中使用。
• 校準(zhǔn)：使用前需進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)和量程校準(zhǔn)，定期使用標(biāo)準(zhǔn)電阻進(jìn)行校驗(yàn)。
• 樣品準(zhǔn)備：確保測試樣品表面清潔、平整，與探針接觸良好。
• 探針維護(hù)：保持探針針尖清潔、尖銳，避免過度下壓導(dǎo)致針尖磨損或樣品損傷。
• 電氣安全：儀器必須接地良好，避免在潮濕環(huán)境下操作，防止觸電。
• 通道切換：切換測試通道時(shí)，確保測試回路已斷開，避免短路或浪涌沖擊。
• 數(shù)據(jù)保存：測試完成后及時(shí)保存數(shù)據(jù)并備份，防止數(shù)據(jù)丟失。
• 設(shè)備存放：長期不用時(shí)應(yīng)斷開電源，置于干燥清潔處。

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