ZJ-10 真空規(guī)管(電離規(guī)管)
上海雙旭ZJ-10 真空規(guī)管(電離規(guī)管)介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-10為熱陰極電離規(guī)管,基于電子碰撞氣體分子產(chǎn)生離子流原理測量高真空度,適用于真空設備中對10-1Pa至10-5Pa范圍進行精確監(jiān)測與控制,廣泛用于科研、半導體、鍍膜及真空爐等領域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍:1×10-1Pa ~ 1×10-5Pa
- 工作電壓(燈絲):約4.5V AC/DC(或按型號規(guī)格)
- 收集極電壓:-25V~-30V(相對陰極為負)
- 發(fā)射電流:0.5mA~5mA可調(diào)
- 靈敏度系數(shù)(對N2):約0.15~0.2 Pa-1(依實際校準)
- 最高烘烤溫度:≤450℃(連續(xù))/ ≤500℃(短時)
- 材料與結構:玻璃或金屬陶瓷外殼,鎢/銥合金燈絲,不銹鋼電極支架
- 響應時間:≤100ms(滿量程變化)
- 壽命:≥2000小時(標準工況)
- 接口形式:DN16 CF法蘭 / KF16快接(依版本)
- 重量:約80g~120g
使用注意事項
- 嚴禁在大氣壓力或高壓下通電加熱燈絲,否則立即燒毀;必須在真空度低于1×10-1Pa后再啟動電離規(guī)功能。
- 使用前確保真空系統(tǒng)清潔,避免油蒸氣、粉塵、腐蝕性氣體進入規(guī)管內(nèi),防止污染電極表面影響測量精度。
- 燈絲為易損件,通電時避免沖擊振動,關機前應先降低發(fā)射電流至零再斷電源,延長壽命。
- 規(guī)管不耐機械撞擊,安裝需對準法蘭密封面,均勻緊固螺栓,防止應力損壞玻璃殼或陶瓷封接。
- 高溫烘烤時不得超過規(guī)定溫度與時間,以免電極變形或燈絲氧化失效。
- 更換或維修應在潔凈環(huán)境進行,避免手指直接接觸電極或燈絲,防止油脂污染。
- 離子流信號易受磁場干擾,安裝位置應遠離強磁體或大電流導體。
- 長期停用應存放在干燥無塵處,避免受潮或機械損傷;再次使用前應檢查密封性及電極狀態(tài)。
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