ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
上海雙旭ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-10為熱陰極電離規(guī)管，基于電子碰撞氣體分子產(chǎn)生離子流原理測量高真空度，適用于真空設備中對10-1Pa至10-5Pa范圍進行精確監(jiān)測與控制，廣泛用于科研、半導體、鍍膜及真空爐等領域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10-1Pa ～ 1×10-5Pa
- 工作電壓（燈絲）：約4.5V AC/DC（或按型號規(guī)格）
- 收集極電壓：-25V～-30V（相對陰極為負）
- 發(fā)射電流：0.5mA～5mA可調(diào)
- 靈敏度系數(shù)（對N2）：約0.15～0.2 Pa-1（依實際校準）
- 最高烘烤溫度：≤450℃（連續(xù)）/ ≤500℃（短時）
- 材料與結構：玻璃或金屬陶瓷外殼，鎢/銥合金燈絲，不銹鋼電極支架
- 響應時間：≤100ms（滿量程變化）
- 壽命：≥2000小時（標準工況）
- 接口形式：DN16 CF法蘭 / KF16快接（依版本）
- 重量：約80g～120g
使用注意事項
- 嚴禁在大氣壓力或高壓下通電加熱燈絲，否則立即燒毀；必須在真空度低于1×10-1Pa后再啟動電離規(guī)功能。
- 使用前確保真空系統(tǒng)清潔，避免油蒸氣、粉塵、腐蝕性氣體進入規(guī)管內(nèi)，防止污染電極表面影響測量精度。
- 燈絲為易損件，通電時避免沖擊振動，關機前應先降低發(fā)射電流至零再斷電源，延長壽命。
- 規(guī)管不耐機械撞擊，安裝需對準法蘭密封面，均勻緊固螺栓，防止應力損壞玻璃殼或陶瓷封接。
- 高溫烘烤時不得超過規(guī)定溫度與時間，以免電極變形或燈絲氧化失效。
- 更換或維修應在潔凈環(huán)境進行，避免手指直接接觸電極或燈絲，防止油脂污染。
- 離子流信號易受磁場干擾，安裝位置應遠離強磁體或大電流導體。
- 長期停用應存放在干燥無塵處，避免受潮或機械損傷；再次使用前應檢查密封性及電極狀態(tài)。
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