ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-10 為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的電離式真空規(guī)管，基于熱陰極電離原理測(cè)量高真空度，適用于真空系統(tǒng)的高精度壓力監(jiān)測(cè)與控制，常用于科研、半導(dǎo)體制造、真空冶金及分析儀器等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（標(biāo)準(zhǔn)型），部分型號(hào)可擴(kuò)展至 1×10⁻⁶ Pa
- 工作電壓：燈絲加熱電壓 4.5V~6.3V AC/DC；收集極高壓 -30V~-100V（可調(diào)）
- 發(fā)射電流：典型 5mA，可調(diào)范圍 1~10mA
- 靈敏度：≥0.15Pa⁻¹（氮?dú)鈽?biāo)定）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1s（滿量程變化）
- 工作溫度：-20℃ ~ +50℃
- 預(yù)熱時(shí)間：≤3min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 接口形式：DN16 ISO-KF 法蘭或 CF16 法蘭可選
- 材料：304不銹鋼殼體，耐高溫陶瓷絕緣件
- 壽命：連續(xù)工作 ≥5000小時(shí)（視工況而定）
結(jié)構(gòu)與工作原理
ZJ-10 采用三電極結(jié)構(gòu)：熱陰極發(fā)射電子，電子在柵極加速并與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子被帶負(fù)電位的收集極捕獲形成離子流，離子流與氣體壓力成正比關(guān)系，通過電路換算得到真空度。適合中高真空段的精確測(cè)量，不能直接用于大氣壓或粗真空段。
使用注意事項(xiàng)
- 禁止在壓力高于 1×10⁻¹ Pa（約粗真空上限）下長(zhǎng)時(shí)間通電，否則會(huì)燒毀燈絲。
- 首次上電或更換環(huán)境需預(yù)熱至少 3分鐘，確保讀數(shù)穩(wěn)定。
- 電離規(guī)對(duì)氣體種類敏感，不同氣體靈敏度差異顯著，標(biāo)定需用實(shí)際工況氣體或換算系數(shù)修正。
- 避免機(jī)械沖擊與劇烈振動(dòng)，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移或玻璃部件破裂。
- 安裝時(shí)需保證法蘭密封可靠，防止漏氣影響測(cè)量精度。
- 規(guī)管工作時(shí)收集極高電位，嚴(yán)禁在通電狀態(tài)下觸碰高壓部位或進(jìn)行拆卸操作。
- 長(zhǎng)期停用應(yīng)斷電并存放于干燥環(huán)境，防止受潮導(dǎo)致絕緣性能下降。
- 更換燈絲或維修須由專業(yè)人員進(jìn)行，非專業(yè)人員勿拆解。
應(yīng)用領(lǐng)域
適用于分子泵+機(jī)械泵組合的高真空系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、粒子加速器真空段、質(zhì)譜儀真空腔、半導(dǎo)體工藝腔室等需要高精度中高真空測(cè)量的場(chǎng)合。 |
