HPS5510 多通道方阻測(cè)試儀
上海雙旭 HPS5510 多通道方阻測(cè)試儀
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量原理：四探針法（可切換二線/四線模式）
- 測(cè)試通道數(shù)：4通道同步獨(dú)立測(cè)量（可擴(kuò)展至8通道）
- 方阻測(cè)量范圍：10⁻³ ~ 10⁸ Ω/□（自動(dòng)量程）
- 電阻率測(cè)量范圍：10⁻⁵ ~ 10¹⁰ Ω·cm（依樣品厚度換算）
- 分辨率：0.01 mΩ/□（低阻段），1 mΩ/□（高阻段）
- 精度：±0.5%讀數(shù) ±2字（標(biāo)準(zhǔn)條件下）
- 電流源范圍：1 nA ~ 100 mA（軟件可調(diào)，恒流輸出）
- 電壓測(cè)量范圍：1 μV ~ 200 V（24位ADC采樣）
- 測(cè)量速度：?jiǎn)吸c(diǎn)≤300 ms，4通道全掃≤1.2 s
- 探針間距：標(biāo)準(zhǔn)1 mm（可定制0.5 / 2 mm間距夾具）
- 顯示方式：7寸彩色觸摸屏，實(shí)時(shí)曲線+數(shù)值雙顯
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：內(nèi)置4 GB存儲(chǔ)，支持U盤導(dǎo)出CSV/TXT格式
- 通訊接口：USB、RS485、以太網(wǎng)（可選配WiFi模塊）
- 電源要求：AC 220 V±10%，50/60 Hz，功耗≤50 W
- 工作環(huán)境：溫度15~30℃，濕度≤80% RH（無凝露）
- 外形尺寸：430×350×180 mm（主機(jī)），重量約8 kg
產(chǎn)品介紹
上海雙旭 HPS5510 為多通道方阻/電阻率快速檢測(cè)儀器，基于高精度恒流源與低噪聲電壓測(cè)量技術(shù)，采用四探針接觸法實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜、金屬涂層等樣品的非破壞性電學(xué)性能測(cè)試。設(shè)備具備4通道并行采集能力，可在一次裝樣后完成多點(diǎn)或批量樣品掃描，顯著提升產(chǎn)線或?qū)嶒?yàn)室檢測(cè)效率。內(nèi)置智能溫漂補(bǔ)償與自校準(zhǔn)程序，適配不同厚度及形狀樣品，滿足光伏電池片、LED外延片、透明導(dǎo)電膜、功能陶瓷片等領(lǐng)域的精密測(cè)量需求。
儀器配備7寸工業(yè)觸控屏，操作邏輯直觀，支持單點(diǎn)手動(dòng)測(cè)量、連續(xù)掃描、配方調(diào)用及數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)繪圖。通訊接口豐富，可接入MES系統(tǒng)或遠(yuǎn)程控制平臺(tái)，適合自動(dòng)化產(chǎn)線集成。探針夾具模塊化設(shè)計(jì)，更換便捷，兼容硬質(zhì)/柔性樣品表面接觸，降低人為誤差。
使用注意事項(xiàng)
- 探針與樣品表面須保持垂直且均勻接觸，避免傾斜導(dǎo)致測(cè)量值偏差或探針損壞。
- 樣品表面應(yīng)清潔、平整、無氧化層或污染物，必要時(shí)用無水乙醇擦拭并干燥后再測(cè)。
- 嚴(yán)禁在潮濕、強(qiáng)電磁干擾或高溫環(huán)境（＞30℃）下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，防止電路漂移及探頭銹蝕。
- 使用前需執(zhí)行零點(diǎn)校準(zhǔn)與標(biāo)準(zhǔn)電阻校驗(yàn)，確保電流源和電壓測(cè)量鏈路準(zhǔn)確。
- 高阻樣品測(cè)量時(shí)，注意屏蔽環(huán)境漏電流，可采用三同軸連接或縮短測(cè)試線長(zhǎng)度。
- 更換探針夾具前務(wù)必?cái)嚯�，防短路或靜電損傷前端放大電路。
- 電流源設(shè)定不得超過樣品耐受極限，防止過熱燒毀或改變材料特性。
- 長(zhǎng)期停用需取出保險(xiǎn)絲并覆蓋防塵罩，存放于干燥潔凈處。
- 非專業(yè)人員勿拆解主機(jī)外殼，內(nèi)部高壓區(qū)及靜電敏感元件存在安全風(fēng)險(xiǎn)。
- 軟件升級(jí)或參數(shù)修改應(yīng)由授權(quán)工程師執(zhí)行，避免誤設(shè)量程引發(fā)過載保護(hù)觸發(fā)。
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