日本COSMOS半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀XPS-7日本新宇宙
產(chǎn)品概述
日本COSMOS新宇宙XPS-7半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體制造及石油化工行業(yè)設(shè)計(jì)的便攜式氣體檢測(cè)設(shè)備。該產(chǎn)品采用模塊化設(shè)計(jì)，通過(guò)更換傳感器單元即可實(shí)現(xiàn)多種氣體的快速檢測(cè)，適用于半導(dǎo)體工廠、石油化學(xué)工廠等使用有毒氣體或半導(dǎo)體材料氣體的場(chǎng)所進(jìn)行泄漏檢測(cè)和濃度測(cè)量。其輕量化設(shè)計(jì)（約1.3kg）和肩背式攜帶方式便于現(xiàn)場(chǎng)操作人員靈活使用。
核心功能特點(diǎn)
XPS-7采用定電位電解式檢測(cè)原理，具備自動(dòng)吸引式采樣功能，可針對(duì)不同氣體類(lèi)型靈活更換傳感器單元，無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的氣體檢測(cè)器校正操作。設(shè)備配備蜂鳴器與報(bào)警燈雙重警示系統(tǒng)，當(dāng)氣體濃度異常時(shí)會(huì)通過(guò)斷續(xù)音和燈光閃爍提示用戶。其響應(yīng)時(shí)間在60秒內(nèi)可達(dá)到60%的檢測(cè)響應(yīng)，連續(xù)工作時(shí)間超過(guò)12小時(shí)（使用堿性電池條件下）。該產(chǎn)品支持檢測(cè)的氣體包括氨氣、硅烷、砷化氫、硒化氫等半導(dǎo)體工藝中常見(jiàn)的氣體類(lèi)型。
技術(shù)參數(shù)與使用便利性
設(shè)備外形尺寸為62mm×150mm×128mm（不含突出部分），工作溫度范圍覆蓋0℃至40℃環(huán)境。標(biāo)配包含肩背皮帶、4節(jié)5號(hào)堿性電池及過(guò)濾紙等配件，用戶可根據(jù)需要選配AC變壓器或數(shù)據(jù)收集配套元件。采用盒式傳感器單元設(shè)計(jì)，大幅減少了維護(hù)時(shí)間和操作復(fù)雜度，傳感器更換過(guò)程無(wú)需專(zhuān)業(yè)工具即可完成。彩色顯示屏清晰顯示氣體濃度變化趨勢(shì)，支持?jǐn)?shù)字與圖形雙模式切換。
應(yīng)用場(chǎng)景說(shuō)明
該檢測(cè)儀主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中特殊氣體的泄漏檢查，包括晶圓加工、刻蝕工藝等環(huán)節(jié)的氣體監(jiān)測(cè)。同時(shí)也適用于石油化工行業(yè)中硫化氫、一氧化碳等有毒氣體的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。其便攜特性特別適合工廠巡檢、設(shè)備維護(hù)時(shí)的臨時(shí)監(jiān)測(cè)需求。通過(guò)簡(jiǎn)單的傳感器單元更換，單臺(tái)設(shè)備即可滿足多場(chǎng)景下的不同氣體檢測(cè)需求，有效提升設(shè)備利用率。
日本COSMOS半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀XPS-7日本新宇宙
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